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최근 FPD 유리 기판의 반송은 더 얇고 더 큰 보드를 얼마나 빨리. 입자 비산이 적은 방법으로 흘려가지 싸움으로 되어 있습니다. 롤러와 볼을 사용하여 만송은 속도와 청정도 면에서 한계가 있고. 업계는 일찍부터 기판 비접촉 반송(에어 블로우 방식 등)에 주목하고 있습니다. 그러나 기존의 에어 블로 반송은 센서 등을 포함한 초기 비용 측면이 매우 높고. 사용하는 에어 양도 많이 필요하기 때문에 운영 비용도 소요될에서 실제로 사용되는 것은 아주 희소였습니다.
ATEC가 개발했습니다. 사전 블로 PB/PBU 시리즈는 독특한 구조 (PAT.P)에 의해 기판 감지 센서를 필요로 하지 않고, 장치 상단 사전 베어가 공기의 ON/OFF 스위치 역할을 하여 설비 투자의 초기 비용을 최대한 줄일 수 있습니다.
[클린룸 대응 플레인베어 DBU-1 발진데이터]
클린 상자에서 센터링 장치를 주행했을 때의 한 입방 피트 근처의 빠티쿠루데타 측정.
PBU - 1 시험 데이터
시험 사양
[베이 속도]에 12m/min
[베이 사용량] 30ℓ 12m/min (일반 블루 1개당)
[G3.5기판](605 x 720) 사전 타격 6개의 공기 배출
[구동 롤러]마그네틱 구동 롤러
클린 상자 환경
되지 않음 주행시 상자 발진 데이터 PARTICLE 1CF 0.3μ : 0~3개 입자 1CF 0.5μ : 0↑
[박스 친구 연속 가동[ 팬 능력 : 11.0m³ / min (NIC 오토 테크(주))
[계측 기기]AIR PARTICLE COUNTER HHPC-2 (리온 (주))
능력 : 0.1cf/min(10분간 연속 흡인)
PBU-1 주행 발진 데이터
[플레인블로-PB타입 기판 엣지 미처리품의 볼에게의 영향]
(1) 실험목적
  가장자리 처리되지 않은 기판은 PB 사발이 손상된 흠집 발생 여부를 조사한다.
(2) 조사 방법
  가장자리 처리되지 않은 보드가 구하기 힘든 위해 기존 보드 깨지는 양상을 볼에 접촉시켜 상처의 유무를 조사한다.
(3) 조사 개요
  데모 기판 반송 장치에 의해 기판을 이송하고 공에 미치는 영향을 조사한다.
기판 반송 속도 : 60m/min
(4) 볼의 상태
  공 재질 : UPE과 PEEK
 

UPE

몰래 엿보다
(5) 결과
  볼에 약간의 흠집은 확인되지만, PB 기능을 해치는 눈물은 발생하지 않았습니다.
● 플레인블로 PB-1
기본 사양
유체의 이용 압축 공기 청정기
부동 기판의 금액 1.5mm 최대
사용 압력 0.01~0.02MPa
공기 소비량 80ℓ는 다음을 분
온도 5~40℃
반송 대응 속도 60m/min 이상
● 플레인블로 유닛 PBU-1
PBU-1을 단위화 하여, 사전 블로우 장착 피치 계싼. 설치의 수고를 크게 줄일했습니다. 각 세대를 위한 장치 (3세대~10세대)를 준비하고 있습니다. 문의하십시오

PBU-1
PBU-1 PBU-1 4~5개 부
사용 압력 0.01~0.02MPa
사용 압력 0.01~0.02MPa
공기 소비량 120~150ℓ /분


클린룸 사전 베어 라인 특징 /PVXM/PVXA/PVP 10B/PVP 16B/PVP 20B/PVPR/PVPR-H에 PVP-H에 PVPA/M8 볼트 타입/ PVPW * PVPM/PVL-C를 PB/PBU